Description

• Title:
  Properties of AlNx thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering
• Creator:
  Stafiniak, Andrzej;
  Muszyńska, Donata;
  Szyszka, Adam;
  Paszkiewicz, Bogdan;
  Ptasiński, Konrad;
  Patela, Sergiusz;
  Paszkiewicz, Regina;
  Tłaczała, Marek
• Contributor:
  Gaj, Miron. Redakcja;
  Urbańczyk, Wacław. Redakcja
• Description:
  Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 4, s. 717-722
• Object availability:
  free access
• Rights:
  Wszystkie prawa zastrzeżone (Copyright);
  Dla wszystkich w zakresie dozwolonego użytku
• Date:
  2009.12.31;
  2009
• Type:
  artykuł
• Language:
  English
• Source:
  <sygn. PWr A3481II>;
  http://aleph.bg.pwr.wroc.pl/F/?func=find-b&request=000122307+&find_code=SYS&adjacent=N&local_base=TUR&x=64&y=13&filter_code_1=WLN&filter_request_1=&filter_code_2=WYR&filter_request_2=&filter_code_3=WYR&filter_request_3=&filter_code_4=WFT&filter_request_4=&filter_code_5=WSB&filter_request_5= ;http://opticaapplicata.pwr.edu.pl
• Publisher:
  Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
• Relation:
  Optica Applicata;
  Optica Applicata, Vol. 39, 2009;
  Optica Applicata, Vol. 39, 2009, nr 4;
  Politechnika Wrocławska. Wydział Podstawowych Problemów Techniki
• Subject:
  optyka;
  aluminum nitride (AlN);
  thin films;
  reactive magnetron sputtering;
  alternative dielectrics
• Data provider:
  Dolnośląska Biblioteka Cyfrowa
• Can I use it?:
  seek permission
• Type:
  image